MSOCache solltest Du nicht löschen. Dort sind die MS-Office Setupdateien enthalten. Wenn Du diesen Ordner löscht, mußt Du ggf. ständig die Office-CD einschieben, wenn etwas nachinstalliert werden muß. Wenn Dir der Ordner an dieser Stelle nicht paßt, gäbe es ein Tool, mit dem Du ihn an andere Stelle verschieben kannst.
Die Ordner, die mit einem Dollarzeichen beginnen, kannst Du nach meiner Erfahrung immer bedenkenlos löschen. Vorher solltest Du aber neu starten.